336.第336章 风向变了
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段的各项测试工作了。”
“等第一台NXT1980光刻机到货后,我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试,验证工作。”
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丁成军此时,又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道:“这是我们第二十五厂的第二产线,基于扶持国产设备的缘故,我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备,哪怕为此付出一些生产成本的上涨!”
“第二产线上,核心设备包括海湾科技正在研发的HDUV-600型光刻机,此外还包括辅助使用的HDUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等,同时也包括后道光刻机,蚀刻机以及离子注入机等核心设备,只要海湾科技有的,技术指标能够达到要求的,我们都会使用!”
“该产线的进度表也和第一产线类似,虽然核心的HDUV-600光刻机到货会晚一些,不过问题不大,应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”
“只不过该产线的生产效率要低一些,成本也会更高一些!”
“生产效率上,还需要海湾科技继续努力了!”
徐申学一边听着,一边看着手中的技术报告。
两条等效七纳米工艺的产线,一条是清一色进口,而另外一条则是国产和进口设备混搭。
其他的都还好,但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。
这个时候,跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEO王道林道:“我们的HDUV-600型光刻机和ASML的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”
“分辨率都是38纳米,数值孔径一点三五,套刻精度都是二点五纳米。”
“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标,少一个都不行。”
“不过除了这三个核心指标外,还有一个指标上我们的HUDV-600光刻机就存在一些差距了,那就是WPH,即每小时处理晶圆片的数量。”
“这个数据越大,光刻机单位时间内的产量就越大,产量越大,生产效率越高!”
“作为对比,ASML的NXT1980光刻机,其WPH是二百七十五片。”
“我们的HDUV-600光刻机的WPH,设计指标差一些,只有两百四十五片。”
徐申学听罢:“这差距不小啊,回头落到生产过程里,那么就会导致生产成本的上涨!”
王道林道:“是有一些差距,不过这也是没办法的事,我们时间太紧迫了!”
“ASML的NXT1980光刻机,是基于全新研发的机台构架搞出来的,一开始的目的就是奔着更高的生产效率来的,再加上他们的技术积累更深厚,所以搞出来的NXT1980生产效率极高。”
“而我们的HUDV-600型号光刻机,虽然也是采用新研发的机台构架,但是为了赶进度,采取了一些更加保守的技术应用策略,也大量使用了HDUV-500/400型光刻机机台上的技术。”
“这样的研发进度更快,才能够在
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